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    • 日本電子掃描鏡SU5000

      產品型號: SU5000
      品  牌: 日本
      • 1-9 臺
        ¥10000.00
      • ≧10 臺
        ¥9999.00
      所 在 地: 廣東深圳寶安區
      更新日期: 2021-10-21
      詳細信息
      日立SU5000高智能多開放式場發射掃描電鏡方案
      服務電話  
       
      *部分:配置(P2
      第二部分:技術參數(P3)
       
       
       
         
      *部分:配置報價
      序號 貨號 設備名稱 數量 備注
      1 主機 Model SU5000 SEM
      SU5000  型場發射掃描電鏡主機
      Lower Secondary Electron Detector
      低位二次電子探測器
      100x50mm 5-axis motorized stag
      100x50 五軸馬達驅動樣品臺
      Objective movable aperture holder: 4 holes with click-stop design(20, 30, 70, 150 µm dia.)
      4孔物鏡活動光闌桿(孔徑20, 30, 70, 150 µm),附帶自清潔裝置
      Rotary pump
      機械泵
      Turbo Molecular Pump(TMP) 250 L/sx1
      分子泵,250 L/s x1
      Ion pump: 30 L/s  20 L/s
      離子泵:30 L/s  20 L/s
      Control System,including PC,Keyboard,Mouse,Rotary Knob
      控制單元,包括電腦、鍵盤、鼠標、多功能旋鈕板
      EM Wizard
      電鏡助手功能(高自動化)
      Connector for DBC
      能譜接口(外掃描控制器)
      Auto Standard sample correction
      自動標準樣品校正
      1 原裝進口
      2 510-9808    SDM with CD-Measurement Function for SU5000 14S
      高精度測量軟件(離線版,允許10臺電腦使用)
      1 原裝進口
      3 511-5739 Auto-Transformer for SU5000 15K
      變壓器, 7kVA
      1 原裝進口
      4 耗材 耗材(光闌、導電膠帶、泵油等) 1 原裝進口
      5   空壓機 1 原裝進口
      6 國內采購 顯示器 1 -
      報價:美金
       
       
       
       
      第二部分:技術參數
       
      • 高自動化場發射掃描電鏡技術參數
      1.  運行環境:
      1.1  房間溫度:15 ~ 25℃
      1.2  相對濕度:小于60%
      1.3  適用電源:單相,220V±10%,50/60Hz,4kVA,要求連續供電
      1.4  地線:接地電阻不小于40Ω
      2.技術參數
      2.1 組成:主機(包括真空系統、電子光學系統、檢測器系統),自動變壓器,計算機,標準工具及附件。
      2.2 電子槍:肖特基熱場發射電子槍引出電壓, 2.5kV – 4kV (*小步進10V
      2.3 分辨率
      2.3.1 SE分辨率 30kV1.2nm
                     1kV:3.0nm
                     1kV:2.0nm(減速I
                     1kV:1.6nm(減速II)
      2.4  加速電壓:0.5 ~ 30kV  (減速下*低電壓0.1kV
      2.5束流:高、低真空下均大于200nA(高、低真空模式下同時滿足,有利于檢測能力)
      2.6放大倍率
      底片倍率:10600,000x;顯示器倍率:301,500,000x 1280x960像素);
      可同時顯示以顯示器為準和以底片為準的兩種模式的放大倍率
      2.7  物鏡光闌:4孔可調式,光闌孔徑(150/70/30/20um),內置標配加熱自清潔裝置(以便于增加光闌使用壽命),含位置感應器
      2.8 掃描線圈:兩級電磁透鏡偏轉
      2.9透鏡系統:3級電磁透鏡系統
      2.10像散矯正單元:八極電磁消像散
      2.11抽屜式大開倉結構,樣品臺安裝在倉門上。
      2.12樣品臺驅動:5軸優中心馬達驅動樣品臺。
      X±100mmY±50mmZ3-65mm;★ T: -20 to 90 degR: 360deg
      2.13 樣品大小:200mm(直徑),80mm(高度)
      2.14 探測器配備獨立的二次電子探測器
      2.15  圖像導航:自動圖像導航,且擁有三維圖像導航功能
      2.16  真空系統:
      真空度:10-7Pa (電子槍)7×10-4Pa (樣品室)
      分子泵(磁懸浮型)250L/s×1
      機械泵133L/min×1臺;
      離子泵30L/s×1,20L/s×1
      保護:斷電、漏電、真空保護
      2.17 儀器標配特殊材質標準樣品,具有自動標準樣品校準功能。無需工程師維護,便于提高電鏡實時精度。
      2.18配備高自動化輔助操作軟件高級功能::標準模式和高級模式,觀察助手模式,像散調節訓練模式,操作向導,應用助理,傾斜輔助,樣品臺記憶和移動,圖片導航,操作條件文件保存,放大倍率預設,視頻輸出。(提高便捷自動化使用功能)
      2.19  掃描模式: 至少包含Rapid scanFast ScanSlow scanReduce scanCS scanspot mode
      2.20  圖像儲存:BMPTIFFJPEG640×4801280×9602560×19205120×3480像素
      2.21  捕捉的圖片可存儲在臨時圖片欄內,可選擇單張存儲或批量存儲,可自動連續命名
      2.22  數據記錄:放大倍率,加速電壓,工作距離,日期,時間,編號,信號類型
      2.23  捕捉的圖片可存儲在臨時圖片欄內,可選擇單張存儲或批量存儲,可自動連續命名
      2.24  自動功能:自動校準,自動亮度對比度,自動對焦,自動消像散和對焦控制,自動開啟,自動電子束偏移
      2.25  擴展接口:至少為12個,以便于后期擴展功能
      2.26  用戶可自行完成紅烘烤維護和鏡筒合軸維護
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